据新浪科技报导，华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域，入股由中科院微电子所控股的科益虹源公司。

科益虹源的名字并不为产业外的人熟悉，该公司的控股股东是中科院微电子所，持股26.6％，主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统，是大陆国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

从企业信息来看，北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化，注册资金从1.2亿元(人民币，下同)增加到2.02亿元，增长68％，主要是投资人多了，其中就有华为旗下的哈勃投资，占股4.76％，成为第七大股东。

2020年4月份，科益虹源积体电路光刻光源制造及服务基地专案开工建设。该专案由北京科益虹源光电技术有限公司投资建设，总投资5亿元，建筑面积1.2万平方公尺，年产RS222型光刻准分子激光器、光刻用准分子激光器、405光纤耦合头等各类设备30台（套）。

(旺报 )