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华为开始投资光刻机领域 成第7大股东 - 两岸 - 旺报
来源:http://dede.com作者:张国荣日期:2022/06/08 浏览:

据新浪科技报导,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域,入股由中科院微电子所控股的科益虹源公司。

科益虹源的名字并不为产业外的人熟悉,该公司的控股股东是中科院微电子所,持股26.6%,主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是大陆国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

从企业信息来看,北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化,注册资金从1.2亿元(人民币,下同)增加到2.02亿元,增长68%,主要是投资人多了,其中就有华为旗下的哈勃投资,占股4.76%,成为第七大股东。

2020年4月份,科益虹源积体电路光刻光源制造及服务基地专案开工建设。该专案由北京科益虹源光电技术有限公司投资建设,总投资5亿元,建筑面积1.2万平方公尺,年产RS222型光刻准分子激光器、光刻用准分子激光器、405光纤耦合头等各类设备30台(套)。

(旺报 )

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